スパッタリングターゲット

汎用グレードから超高純度品まで、スパッタリングターゲットを幅広く取りそろえています。各種装置に適合する寸法のほか、特注寸法にも対応します。

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酸化による干渉色とエロージョン痕が見られるチタンスパッタリングターゲット
純金属ターゲット
Al、Sb、Bi、B、Cd、Ce、Cr、Co、Cu、Dy、Er、Eu、Gd、Ge、Au、C、Hf、Ho、Ir、In、Fe、La、Pb、Lu、Mn、Mo、Mg、Nd、Nb、Ni、Pd、Pt、Pr、Re、Ru、Sm、Sc、Se、Si、Ag、Ta、Tb、Te、Sn、Tm、Ti、W、V、Yb、Y、Zr、Zn。
合金ターゲット
AlCu、AlCr、AlMg、AlSi、CoCr、CoCrMo、CoFe、CoFeB、CoNi、CoPt、CrSi、CuGa、CuIn、CuNi、IrMn、MoSi、NiAl、NiCr、NiFe、NiTi、SmCo、TiAl、TiNi、WRe、WTi、ZrAlのほか、特注組成にも対応します。
セラミックスターゲット
ホウ化物:CrB₂、HfB₂、LaB₆、TiB₂、ZrB₂。炭化物:B₄C、Cr₃C₂、HfC、SiC、TaC、TiC、WC、ZrC。窒化物:AlN、BN、GaN、HfN、Si₃N₄、TaN、TiN、ZrN。
酸化物ターゲット
Al₂O₃、BaTiO₃、CeO₂、Cr₂O₃、HfO₂、In₂O₃、ITO、Fe₂O₃、MgO、Nd₂O₃、SiO₂、SrTiO₃、Ta₂O₅、TiO₂、SnO₂、WO₃、Y₂O₃、ZnO、ZrO₂など。
セレン化物、硫化物、テルル化物、フッ化物
Bi₂Se₃、CdSe、ZnSe、MoSe₂、CdS、MoS₂、ZnS、Bi₂Te₃、CdTe、GeTe、PbTe、AlF₃、CaF₂、MgF₂、YF₃など。
受注生産
AZO、Cr-SiO、CIGS、ITO、IGZO、GaAs、GaP、GaSb、InSb、InAs、InP、LSMO、YBCO、LCMO、YSZ、GeSbTeなど。

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