Sputtertargets
Ein komplettes Programm an Sputtertargets, von technischer Reinheit bis ultrarein, passend für jede Anlage oder in Sonderabmessungen.
- Reinmetalltargets
- Al, Sb, Bi, B, Cd, Ce, Cr, Co, Cu, Dy, Er, Eu, Gd, Ge, Au, C, Hf, Ho, Ir, In, Fe, La, Pb, Lu, Mn, Mo, Mg, Nd, Nb, Ni, Pd, Pt, Pr, Re, Ru, Sm, Sc, Se, Si, Ag, Ta, Tb, Te, Sn, Tm, Ti, W, V, Yb, Y, Zr, Zn.
- Legierungstargets
- AlCu, AlCr, AlMg, AlSi, CoCr, CoCrMo, CoFe, CoFeB, CoNi, CoPt, CrSi, CuGa, CuIn, CuNi, IrMn, MoSi, NiAl, NiCr, NiFe, NiTi, SmCo, TiAl, TiNi, WRe, WTi, ZrAl sowie kundenspezifische Zusammensetzungen.
- Keramiktargets
- Boride: CrB₂, HfB₂, LaB₆, TiB₂, ZrB₂. Carbide: B₄C, Cr₃C₂, HfC, SiC, TaC, TiC, WC, ZrC. Nitride: AlN, BN, GaN, HfN, Si₃N₄, TaN, TiN, ZrN.
- Oxidtargets
- Al₂O₃, BaTiO₃, CeO₂, Cr₂O₃, HfO₂, In₂O₃, ITO, Fe₂O₃, MgO, Nd₂O₃, SiO₂, SrTiO₃, Ta₂O₅, TiO₂, SnO₂, WO₃, Y₂O₃, ZnO, ZrO₂ und weitere.
- Selenide, Sulfide, Telluride, Fluoride
- Bi₂Se₃, CdSe, ZnSe, MoSe₂, CdS, MoS₂, ZnS, Bi₂Te₃, CdTe, GeTe, PbTe, AlF₃, CaF₂, MgF₂, YF₃ und weitere.
- Auf Bestellung gefertigt
- AZO, Cr-SiO, CIGS, ITO, IGZO, GaAs, GaP, GaSb, InSb, InAs, InP, LSMO, YBCO, LCMO, YSZ, GeSbTe und weitere.